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白光干涉儀是什么原理?干什么用?

更新時間:2022-06-06  |  點擊率:2212
白光干涉儀是以白光干涉技術為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,非接觸測量樣品表面形貌的光學測量儀器,用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析,用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù),廣泛應用于光學,半導體,材料,精密機械等等領域。

工作原理:

白光干涉儀是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光,分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉,在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度。

應用領域:
白光干涉儀是用來測量三維微觀形貌的。白光干涉儀可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等,提供依據(jù)ISOIASMEEUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。
 

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